- AccuSizer Mini 在线液体颗粒计数器
- AccuSizer Mini 在线液体颗粒计数器
Why online？
为什么用在线？
省钱！
How？
如何省钱？
提高良品率！
提高过滤器的利用率，提高过滤器的使用寿命，减少宕机时间。
How？
如何提高良品率？
快速揪出晶圆划痕的元凶⸺尾端大粒子，Large Particle Count(LPC)0.15-20μm。
CMP制程中Slurry的LPC及其容易变化，如外来污染，由于化学环境、CMP传递运输系统，泵的输送，因剪切力的改变而导致的粒子聚集。slurry本身就不稳定。所以控制CMP slurry的尾端大颗粒（LPC）对提高CMP良品率至关重要。
Who should use？
谁应该使用？
研磨液(Slurry)的生产商，CMP SDS系统集成供应商，芯片IDM生产企业或晶圆代工厂
Where to use？
在哪里使用？
POU 端监控过滤效率，过滤前和过滤后。
选择合适的过滤器。
确保CMP工艺前CMP slurry中具有可控的LPC的量。
产品介绍 | INTRODUCTION
AccuSizer® Mini在线液体颗粒计数器，不仅能根据客户需求灵活匹配功能模块进行在线颗粒监测，还具备LE400、FX和FX Nano等多种传感器选项，以应对不同检测范围和浓度需求。
借助单颗粒光学传感技术（Single Particle Optical System，SPOS），该系列产品能够高精度地检测远离主峰的几个PPT水平标准差的LPC分布，并快速统计数十万个粒子，为生产过程提供真实可靠的数据支持。
针对研磨液（Slurry）浓度高的特点，AccuSizer® Mini系列在线液体颗粒计数器可配置原液进样、一步稀释、二步稀释模式，适应多种样品类型。其自动化样品混合仓和传感器清洗功能确保了数据的准确性和一致性。
AccuSizer® Mini专为工业生产线设计，可通过PLC设备与企业LIMS系统集成，实现高效控制和监控。
实时监控大颗粒数量（LPC）
提高CMP制程良品率
产品优势 | HIGHLIGHT
应用领域 | Application
功能和优势 | Features & Benefits
CMP slurry（研磨液）、复杂纳米制剂、墨水等需要监控大粒子数量（Large Particle Count）的领域
不同于LAB的设计理念，符合在线产品的需求。
全自动化和模块化设计理念，大大减少维护成本和周期。
自动稀释，专为用于高浓度的研磨液（slurry）的颗粒计数而设计。
SPOS单颗粒计数技术，可对150nm的粒子进行量化计数。
512通道的超高分辨率。可以量化极少数LPC。
FX系列专为氧化铈而设计，相对于LE/LS SPOS来说，FX系列有超过200倍的检测浓度。
自动稀释加持下，可对106/ml的浓度进行计数！
SPOS
单颗粒计数技术
150nm
进行量化计数
512
通道的超高分辨率
106/ml
计数浓度
仪器原理 | PRINCIPLE
多种传感器 | Multiple Sensors
SPOS(LE+LS)
单颗粒光学传感技术原理示意图
AccuSizer Mini LE 系统
SPOS(Focus Beam+LE)
聚焦光束计数技术原理示意图
AccuSizer Mini FX 系统
Focused Beam+LS
聚焦光束纳米计数技术原理示意图
AccuSizer Mini FX-Nano 系统
仪器参数 | SPECIFICATION
性能规格
AccuSizer Mini LE 系统 AccuSizer Mini FX 系统 AccuSizer Mini FX-Nano 系统 分析方法及原理
SPOS（LE+LS）
SPOS（Focus Beam+LE）
SPOS（Focus Beam+LS）
粒径检测范围
0.5-400μm
0.65-20μm
0.15-200μm
传感器极限浓度
10,000颗/mL
106颗/mL
106颗/mL
样本量
最小10mL
精度
1μm PSL标准粒子粒径平均值±10%
测量时间
CMPslurry（研磨液）
(Silicon)、墨水、纳米乳
CMPslurry
（研磨液）（Cerium）
CMPslurry（研磨液）
（纳米级Silicon）
安装要求
电源
3相电源插座（IEC C14插座）、100至240VAC最大功率5安培
压缩空气或气体
1/4’’push on、3.5至5.6 kg/cm2、50至80 psi
水
1/4’’flare、1.8 to 2.5 kg/cm2、25至35 psi
进样
1/4’’flare、0.2 to 2.1 kg/cm2、3至30 psi
排液
1/4’’flare、零压力排放
尺寸
863.6mm*355.6mm*279.4mm（34’’* 14’’* 11’’）
注：
1. 实际配置可能随系统升级发生改变，以成交时信息为主；
2. SPOS，Single Particle Optical Sizing光学单颗粒传感技术；
3. LE，Light Extinction, 光阻法；
4. FX, Focused Beam，光聚焦单颗粒计数技术；
5. LS，Light Scattering，光散射。